介紹了專業多線切割設備的總體結構,說明了它的工作原理,針對鋼絲線張力波動的問題,提出了一種基于相鄰軸速度誤差的多軸同步控制策略.以收放線電機和主電機為控制對象,定義了多軸系統的跟蹤誤差和同步誤差,引入了相鄰軸速度誤差的概念,設計控制轉矩滿足電機的運動方程,使得相鄰軸速度誤差及其微分趨于零,實現多軸的同步控制.采用李雅普諾夫函數證明了算法的收斂性和穩定性.仿真和實驗表明該控制策略不僅同步性高、穩定性好、收斂速度快,而且張力控制精度高、波動范圍小。很好的實現了多線切割設備廠家的速度同步控制。
隨著太陽能電池和大規模集成電路的迅速發展,尤其是集成電路的制作過程中大直徑和大直徑的單晶硅片的廣泛應用,傳統的硅片加工方法由于加工效率低、表面完整性差、加工半徑小以及成本高等缺點已經不能滿足如今的需求。唐山專業多線切割設備以其加工效率高、切片薄、加工直徑大等優點很快脫穎而出,成為了硅片切割市場的主流。由于我國該技術發展滯后,多線切割機床大多依賴于進口,不適應該產業的發展。對于多線切割機床的研制以及該技術的研究,雖然還處于起步階段,但已經受到廣泛重視?;诖蟪叽绻杵亩嗑€切割原理,分析多線切割技術的材料去除機理;對專業多線切割設備的整體剛度進行研究;對游離磨料線鋸加工切片的表面粗糙度進行建模和預測,并分析同所有片表面粗糙度的不均勻性。在游離磨料多線切割過程中,研磨液由有機溶液基底和磨粒配比而成,是工件材料去除的直接原因。它對工件表面有兩個作用,分別是液體對工件材料表面產生的作用和SiC磨粒對工件材料表面產生的作用。
唐山專業多線切割設備是IC(集成電路)、IT(信息技術)、PV(光伏)等行業核心器件基片制造流程中的關鍵裝備。多線切割是目前非常先進的切片加工技術,其原理是通過金屬線的高速往復運動把磨料帶入待切割材料加工區域進行研磨,將待切件同時切割為數百或數千片薄片的創新性切片工藝。但多線切割機制造技術難度大,其核心技術長期被瑞士、日本等國家的極少數公司所壟斷,嚴重制約了我國半導體照明、光伏、集成電路制造等產業的發展。開發具有自主知識產權的多線切割技術及裝備,已成為突破國外技術封鎖和國內產業瓶頸的關鍵舉措。
唐山多線切割設備技能是進行脆硬資料(如硅錠等)切開的一種立異性工藝。在該工藝中,切開線被纏繞在一個導向軸上,可以幾百個一起進行切割,同時取得幾百個切片。多線切割技能工藝可進一步分為兩個進程分支,一方面是傳統的、已被廣泛運用的切割拋光工藝,另一個是新的切割磨削工藝。在切割拋光工藝中運用的是沒有涂層的切割線,在切割進程中,把切割線涂上拋光液。切割磨削工藝運用的是附有金剛砂涂層的切割線以切削的方法進行,以達到理想的切割效果,很大的提高出產功率。 專業多線切割設備技能可被用于切割脆硬材料,如硅錠等,此外也可用于切割難切削的材料。
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