高質量磁性材料切割機的布局結構,包括機架、放線電機、放線支承座、放線往復直線運動機構、放線排線繞鋼絲線導輪、放線輪、收線排線繞鋼絲線導輪、放線繞鋼絲線校準導輪、鋼絲線、放線張力繞鋼絲線導輪、放線繞鋼絲線導輪、工作臺進給電機、絲母、滾珠絲桿、平衡氣缸、工作臺滑動座、自動夾緊機構、被切割工件、收線繞鋼絲線導輪、可調地腳、切割槽輪、收線張力繞鋼絲線導輪、收線繞鋼絲線校準導輪、切割槽輪電機、收線排線電機、切削液及冷卻控制循環裝置、收線輪、電氣控制柜、收線往復直線運動機構、收線支承座、收線電機和放線排線電機。實用新型深圳磁性材料切割機在降低可能存在的導輪帶來的故障隱患的同時,極大限度減少易耗品導輪數量,降低制造成本。
深圳高質量磁性材料切割機制造技術難度大,其核心技術長期被瑞士、日本等國家的極少數公司所壟斷,因而國內使用的多線切割機全部依賴進口.嚴重制約了我國半導體照明、光伏、集成電路制造等產業的發展。我國每年進口多線切割機約 200 臺以上,而且 隨著全球光伏產業的不斷發展,隨著我國光伏產業振興計劃的不斷提升.切片機市場需求將會大幅提高.因而,開發具有自主知識產權的高質量磁性材料切割機價格及裝備.己成為突破國外技術封鎖和國內產業瓶頸的關鍵舉措。
隨著半導體產業的快速發展,深圳高質量磁性材料切割機的市場需求不斷增大,得到了國家政府部門的高度重視,投入也越來越多。近幾年,許多科研機構和一些企業相繼立項研究了大直徑硅片切割加工關鍵技術及其相關的工藝與裝備,并取得了一些可喜的成果。部分國內公司都基本掌握了多線切割機的關鍵技術,相繼研制出了多種數控多線切割機產品,這對我國切片加工行業以及半導體行業的發展起到了巨大的推動作用。雖然國內研究均有突破,但在設備運行穩定性及切割精度方面都或多或少存在問題。高質量磁性材料切割機通過金屬絲的高速往復運動來實現工件的切割,其具有成型效率高、成品精度高等優點,但相關技術中的多線切割機的進給系統僅可以實現加工工件沿豎直方向的進給,由此僅可以加工出平面薄片狀零件,無法加工出瓦形結構零件。
首先,切割液(peg)的粘度由于在高質量磁性材料切割機整個切割過程中, 碳化硅微粉是懸浮在切割液上而通過鋼線進行切割的,所以切割液主要起懸浮和冷卻的作用。切割液的粘度是碳化硅微粉懸浮的重要保證。只有符合機器要求的切割標準的粘度, 才能在切割的過程中保證碳化硅微粉的均勻懸浮分布以及砂漿穩定地通過砂漿管道隨鋼線進入切割區。由于帶著砂漿的鋼線在切割硅料的過程中,會因為摩擦發生高溫,所以切割液的粘度又對冷卻起著重要作用。如果粘度不達標,就會導致液的流動性差, 不能將溫度降下來而造成灼傷片或者出現斷線, 因此切割液的粘度又確保了整個深圳磁性材料切割機運轉過程的溫度控制。
在上世紀80年代以前,人們在切割超硬材料的時候一般采用涂有金剛石粉的內圈切割機進行切側。然而隨粉半導體行業的飛速發展,人們對已有的生產效率難以滿足,同時由于內圓切側的材料攝失非常大,在半導體行業成本的摩爾定律作用下,人們對于降低切捌成本、提高效率的要求越來越高。高質量磁性材料切割機因此而逐步發展起來。在2003年以前,多線切剖主要潤足于半導體行業的需求,切創技術主要掌握在歐、美、日、臺等國家和地區,國內半導體業務以封裝業務為主,上游的晶圓切荊技術遠遠落后于發達國家和地區,相關的設備制造研發也難有進展。高質量磁性材料切割機事業還沒有發展起來、
集成電路、光伏和半導體照明產業是我國戰略性產業之一。深圳高質量磁性材料切割機是太陽能光伏發電、大規模集成電路等電子產業中基片加工的創新性核心工藝和主流技術,可以大幅度提高出片率、切片質量和生產效率。多線切割機控制系統復雜,控制精度要求非常高。目前國內多線切割機產品大部分依賴從國外進口,高質量磁性材料切割機的核心控制技術已成為制約國內多線切割機市場發展的技術瓶頸。多電機速度同步系統和張力系統是控制系統研究的重點和難點。本文針對多電機速度同步控制和張力控制等關鍵技術進行了理論分析與實際開發,對國內多線切割機控制系統的設計、開發和調試提供了一些理論依據,具有一定的理論意義和實際應用價值。本課題以實驗室原有多線切割機樣機為研究對象,設計了一套高精度、高速度的控制系統。
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