介紹了高質量數控精密切割機的總體結構,說明了它的工作原理,針對鋼絲線張力波動的問題,提出了一種基于相鄰軸速度誤差的多軸同步控制策略.以收放線電機和主電機為控制對象,定義了多軸系統的跟蹤誤差和同步誤差,引入了相鄰軸速度誤差的概念,設計控制轉矩滿足電機的運動方程,使得相鄰軸速度誤差及其微分趨于零,實現多軸的同步控制.采用李雅普諾夫函數證明了算法的收斂性和穩定性.仿真和實驗表明該控制策略不僅同步性高、穩定性好、收斂速度快,而且張力控制精度高、波動范圍小。很好的實現了數控精密切割機廠家的速度同步控制。

隨著光伏技術的飛速發展,單晶硅等半導體材料的應用越來越廣泛,單晶硅的廣泛應用促進了單晶硅片的切片技術向高效率、高表面質量、低成本、環境污染小等趨勢發展,進而對切片加工設備的性能要求越來越高。本文針對現有高質量數控精密切割機在切割過程中因主系統振動引起的斷線和硅片表面翹曲度、劃痕等問題,進行了金剛石線切割機主系統結構參數優化,并且對金剛石線切割機加工過程中整體結構性能的穩定性進行了較為深入的研究。其主要研究內容如下:首先,根據光伏硅片的加工要求,分析了金剛石多線切割機的加工工藝和設計參數的設定,確定高質量數控精密切割機廠家的組成和布局;并對多線切割機的進給系統、繞線系統、切割系統、電氣系統以及冷卻循環裝置以及相關部附件進行詳細的設計研究;通過對各子系統的設計研究,找出影響系統穩定性的主要因素,對裝配精度進行詳細分析,得出主系統裝配尺寸誤差的結構組成。其次,為了減小裝配精度帶來的誤差影響,保證硅片的切割質量,減小整體結構振動,需要分析金剛石線切割

天津高質量數控精密切割機已經集成了現代制造技術工藝技術，現代控制技術 現代傳感技術和新型材料，例如交流伺服電機及驅動系統 工業控制計算機 運動控制卡及總線系統 主軸油霧潤滑冷卻及間隙密封單元 恒定張力快速走線系統等 由于以上系統的擇優選用，使現代多線切割機適用于大直徑 IC 硅片，光伏電池襯底超薄片，砷化鎵 磷化銦碳化硅 鈮酸鋰 鉭酸鋰 光學玻璃等多種硬脆材料的切片加工。從國產數控多線切割機床與國外產品主要技術指標對比來看，當前高質量數控精密切割機中小型尺寸加工為主，并在該領域各項主要指標達到或超過國際先進水平，應用范圍也從單純的半導體單晶硅加工快速推廣至多晶硅、石英晶體、寶石、玻璃及壓電陶瓷等其他材料的加工行業。

在上世紀80年代以前，人們在切割超硬材料的時候一般采用涂有金剛石粉的內圈切割機進行切側。然而隨粉半導體行業的飛速發展，人們對已有的生產效率難以滿足，同時由于內圓切側的材料攝失非常大，在半導體行業成本的摩爾定律作用下，人們對于降低切捌成本、提高效率的要求越來越高。高質量數控精密切割機因此而逐步發展起來。在2003年以前，多線切剖主要潤足于半導體行業的需求，切創技術主要掌握在歐、美、日、臺等國家和地區，國內半導體業務以封裝業務為主，上游的晶圓切荊技術遠遠落后于發達國家和地區，相關的設備制造研發也難有進展。高質量數控精密切割機事業還沒有發展起來、