2003年隨著太陽能光伏行業的姆發式增長,國內民營企業的硅片切側業務迅速發展起來。大量引進了瑞士和日本產的先進的數控專業精密切割機。國內設備制造企業也看到了這個巨大的商機,紛紛投人資金和人力物力進行技術研發。但大多數都是仍以仿制為主。2009年開始有一些廠家開始嘗試將在其他行業比如藍寶石切創使用的金鋼線切側技術引人到硅片切俐領城來。精密切割機供應商的事業開始嶄露頭角
為了提高硅材料的加工效率,傳統的單線加工技術已被現在的多線加工技術完全取代。多線加工技術的原理是通過多根鋼線高速往復的運動將研磨材料帶入待切割材料的加工區域,將待加工材料(如晶體硅、人造水晶、人造藍寶石、光學玻璃等硬脆材料)一次性切成數百片甚至數千片的技術。專業精密切割機控制系統復雜,對控制精度要求比較高,所以生產成本比較高。目前國內廠家還沒有完全掌握多線切割機的控制技術,高檔多線切割機市場主要還是依賴進口。要提高國產多線切割機的工作性能,必須對其現存的問題進行深入研究,找到解決問題的方法。本文針對現有國產多線切割機常見的問題進行了理論分析和實驗研究,為國產專業精密切割機供應商的性能改進奠定了堅實的基礎。針對國產多線切割機常出現的斷線問題,分析了鋼線張力發生波動的原因,從數學角度論證了原有張力控制系統的局限性,據此提出了一種機電一體化的新型多線切割機張力控制方案。仿真結果和實驗都驗證了此種張力控制策略具有精度高,斷線率低,易于實現等特點。
集成電路、光伏和半導體照明產業是我國戰略性產業之一。多線切割技術是太陽能光伏發電、大規模集成電路等電子產業中基片加工的創新性核心工藝和主流技術,可以大幅度提高出片率、切片質量和生產效率。河北專業精密切割機控制系統復雜,控制精度要求非常高。目前國內多線切割機產品大部分依賴從國外進口,多線切割機的核心控制技術已成為制約國內精密切割機供應商市場發展的技術瓶頸。多電機速度同步系統和張力系統是控制系統研究的重點和難點。針對多電機速度同步控制和張力控制等關鍵技術,對國內多線切割機控制系統的設計、開發和調試提供了一些理論依據,具有一定的理論意義和實際應用價值。
河北專業精密切割機經過多年的發展已經成熟,但任何事物都不會一勞永逸,今后的發展方向應該是大型、快速、高精度、高效益。(1)、大型是指體積適度加大,質量適度加大、以便一次加工更多材料,增加質量以提高機器穩定度,使晶片加工過程穩定性更好。(2)、切割線行走速度的提高,有利于加快切割速度提高工作效率、帶入砂漿速度的加快可以使砂漿配比改變,使其流動性、滲透性、研磨性更好,從而減少碳化硅、碳化硼、金剛石粉的消耗量,降低生產成本,同時砂漿稀釋流動加快使冷卻效果更好,使砂漿對熱交換器的依賴程度減低。(3)、專業精密切割機精度提高使切割線無效磨擦減少,切割線徑減小會使加工材料損耗減少,切割晶片的彎曲度、翹曲度、平行度、總厚度公差變好,加工晶片表面損傷層淺,粗糙度小,出片率高。
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