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      精密切割設備
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      上海高質量精密切割設備供應商

      2021-05-30
      上海高質量精密切割設備供應商

      硅片是光伏產業和芯片產業中極為重要的生產原材料,而這些年光伏產業迅猛發展,也使得硅片的需求量大大增加。硅片切割加工又是硅片生產中的一個重要環節,其加工設備——高質量精密切割設備供應商是一種機電一體化程度、運行精度都較高的專用裝備。多線切割機設備配有多個不同類型的軸承箱以支撐相關部件的運轉,軸承箱往往是多線切割機的重中之重,軸承箱的密封問題較為突出并且內里的軸承極為容易損壞,迫切需要一種方法能夠檢測硅片多線切割機中軸承箱軸承的疲勞情況。而對軸承進行定期的檢測,既能夠防止生產過程中事故的發生,而且也能夠減少重要部件的隨意更換,更大效率地利用軸承,因而軸承故障診斷一直都是高質量精密切割設備的重點研究技術之一。

      上海高質量精密切割設備供應商

      多線切割是目前先進的切片加工技術,其核心技術長期被瑞士,日本等國壟斷。傳統的上海高質量精密切割設備一般采用砂漿切割工藝進行加工,但這種方法生產效率不高、能耗大,同時由于砂漿粘度高導致切屑分離困難,從而造成對環境的污染。為避免這些缺點,近年來出現了另外一種切割工藝----金剛線多線切割工藝。多軸同步控制是多線切割機設備需要攻克的關鍵問題。傳統的多線切割機控制系統一般通過模擬量或者脈沖的方式控制,這種方式接線復雜,靈活性差,容易受到電磁干擾。而基于現場總線的伺服系統能很好地提高設備的靈活性、快速性和精確性。EtherCAT是目前國際上領先的工業實時以太網技術,本文在研究EtherCAT技術的基礎上,設計了基于EtherCAT的金剛線多線切割機控制系統,主要開展了以下研究工作:針對本課題研究的高質量精密切割設備,設計了基于EtherCAT的硬件系統方案,并對其硬件進行了配置。

      上海高質量精密切割設備供應商

      上海高質量精密切割設備已經集成了現代制造技術工藝技術,現代控制技術 現代傳感技術和新型材料,例如交流伺服電機及驅動系統 工業控制計算機 運動控制卡及總線系統 主軸油霧潤滑冷卻及間隙密封單元 恒定張力快速走線系統等 由于以上系統的擇優選用,使現代多線切割機適用于大直徑 IC 硅片,光伏電池襯底超薄片,砷化鎵 磷化銦碳化硅 鈮酸鋰 鉭酸鋰 光學玻璃等多種硬脆材料的切片加工。從國產數控多線切割機床與國外產品主要技術指標對比來看,當前高質量精密切割設備中小型尺寸加工為主,并在該領域各項主要指標達到或超過國際先進水平,應用范圍也從單純的半導體單晶硅加工快速推廣至多晶硅、石英晶體、寶石、玻璃及壓電陶瓷等其他材料的加工行業。

      上海高質量精密切割設備供應商

      上海精密切割設備在切割加工過程中,斷線是不可避免的問題之一,如何Z大程度上降低斷線率、及時監測斷線信息、減少斷線所造成的損耗及設備損傷,是國內外多線切割技術研發人員所關注的焦點,也是技術研發人員們一直想要攻關的重要項目。新型系列多線切割機創新改進走線系統,8個走線導輪,大大降低了斷線率和耗材損耗。 高質量精密切割設備供應商具備斷線保護系統,通過內置自動感應系統,精準及時地判斷出斷線信號,斷線即可停機,以此保護羅拉免受損傷。此外,智能化的監控系統、精準的伺服電機系統、創新的排線自動感應系統等等,均為預防、監控斷線情況提供有力保障。

      上海高質量精密切割設備供應商

      集成電路、光伏和半導體照明產業是我國戰略性產業之一。多線切割技術是太陽能光伏發電、大規模集成電路等電子產業中基片加工的創新性核心工藝和主流技術,可以大幅度提高出片率、切片質量和生產效率。上海高質量精密切割設備控制系統復雜,控制精度要求非常高。目前國內多線切割機產品大部分依賴從國外進口,多線切割機的核心控制技術已成為制約國內精密切割設備供應商市場發展的技術瓶頸。多電機速度同步系統和張力系統是控制系統研究的重點和難點。針對多電機速度同步控制和張力控制等關鍵技術,對國內多線切割機控制系統的設計、開發和調試提供了一些理論依據,具有一定的理論意義和實際應用價值。

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      進一步提高效率、降低成本是硅材料今后發展的趨勢,也是產業化的要求。目前在半導體硅材料的加工領域引入了高質量精密切割設備,它高效的生產能力,諸多的優勢,決定了它的發展空間,但如何有效控制硅片應力,這是一個需要迫切解決的問題。從線切割機與內圓切割機相比較出發,著重研究線切割機在生產過程中的應力控制。針對線切割機的工作原理,在切片過程中硅片因機械作用造成的刀痕、損傷、破損會導致產生包括機械應力和熱應力在內的應力,進而產生滑移位錯,當機械應力和熱應力在高溫處理過程中的作用超過晶體滑移臨界應力時,會產生硅片的破碎。對于翹曲度、彎曲度、總厚度誤差、中心厚度誤差等方面的質量控制,可以通過調整線張力、進給速度、冷卻劑流量等一系列工藝措施來達到目的及要求,它大大降低了生產成本,提高了生產效率。實驗證明,上海精密切割設備切出的硅片的厚度和質量都很好的滿足了下一道工序的要求。

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