進一步提高效率、降低成本是硅材料今后發展的趨勢,也是產業化的要求。目前在半導體硅材料的加工領域引入了高質量高速多線切割機,它高效的生產能力,諸多的優勢,決定了它的發展空間,但如何有效控制硅片應力,這是一個需要迫切解決的問題。從線切割機與內圓切割機相比較出發,著重研究線切割機在生產過程中的應力控制。針對線切割機的工作原理,在切片過程中硅片因機械作用造成的刀痕、損傷、破損會導致產生包括機械應力和熱應力在內的應力,進而產生滑移位錯,當機械應力和熱應力在高溫處理過程中的作用超過晶體滑移臨界應力時,會產生硅片的破碎。對于翹曲度、彎曲度、總厚度誤差、中心厚度誤差等方面的質量控制,可以通過調整線張力、進給速度、冷卻劑流量等一系列工藝措施來達到目的及要求,它大大降低了生產成本,提高了生產效率。實驗證明,杭州高速多線切割機切出的硅片的厚度和質量都很好的滿足了下一道工序的要求。
目前,高質量高速多線切割機已經廣泛應用于光學玻璃、石英晶體、半導體材料、特種陶瓷、藍寶石、稀有金屬及合金等硬脆及貴重材料的加工,與傳統的內、外圓切片機相比,因其具有材料投入少、表面損傷小、運行成本低、加工效率高等優點。在近兩三年,也逐步在磁性材料加工行業推行,如用于切割釹鐵硼磁材。在對磁材進行切割的過程中,需要在工作臺上放置緩沖物料板,以免損壞工作臺,目前的多線切割設備主要是采用膠水將緩沖物料板粘接在工作臺上或粘接在工作臺上的基板上,這樣比較麻煩,而且每次粘接的位置可能出現誤差,影響磁材的切割。因此,亟需設計一種新型的高速多線切割機價格。
隨著國際上對低碳、甚至無碳能源的倡導,世界各國開始積極響應,紛紛涌入光伏發電領域。面對如此迅猛的發展勢頭,視為核心基片的硅片生產效率已經遠遠滿足不了全球市場的需求,在中國這種緊缺勢態尤為嚴峻。國內市場由于高質量高速多線切割機關鍵技術的匱乏出現嚴重的設備緊缺、無法自給;同時高成本一直是鉗制我國光伏發電規?;瘧玫挠忠恢旅d,其中硅片及其切割成本占光伏發電總成本的55%左右。因此為推動我國光伏產業的大規模發展,應積極研發自主核心杭州高速多線切割機,實現設備自給自足;同時力爭完成硅片的高切割工藝要求,削減與硅片及其制造相關的成本項,降低光伏發電總成本。本文針對這一目標,深入研究多線切割機的技術難點,尤其攻克決定切片質量的控制系統關鍵問題——走線系統的多軸速度協調同步控制,以精確恒定線鋸張力,減小其在加工過程中的波動,從而滿足高切割工藝要求,實現高精度、高效率、高質量、低成本的切片生產。
杭州高質量高速多線切割機經過多年的發展已經成熟,但任何事物都不會一勞永逸,今后的發展方向應該是大型、快速、高精度、高效益。(1)、大型是指體積適度加大,質量適度加大、以便一次加工更多材料,增加質量以提高機器穩定度,使晶片加工過程穩定性更好。(2)、切割線行走速度的提高,有利于加快切割速度提高工作效率、帶入砂漿速度的加快可以使砂漿配比改變,使其流動性、滲透性、研磨性更好,從而減少碳化硅、碳化硼、金剛石粉的消耗量,降低生產成本,同時砂漿稀釋流動加快使冷卻效果更好,使砂漿對熱交換器的依賴程度減低。(3)、高質量高速多線切割機精度提高使切割線無效磨擦減少,切割線徑減小會使加工材料損耗減少,切割晶片的彎曲度、翹曲度、平行度、總厚度公差變好,加工晶片表面損傷層淺,粗糙度小,出片率高。
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