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          精密切割設備
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          長春高質量激光精密切割機廠家

          2021-05-26
          長春高質量激光精密切割機廠家

          硅片是半導體和光伏領域的主要生產材料。長春高質量激光精密切割機是目前世界上比較先進的硅片加工技術,它不同于傳統的刀鋸片、砂輪片等切割方式,也不同于先進的激光切割和內圓切割,它的原理是通過一根高速運動的鋼線帶動附著在鋼絲上的切割刃料對硅棒進行摩擦,從而達到切割效果。在整個過程中,鋼線通過十幾個導線輪的引導,在主線輥上形成一張線網,而待加工工件通過工作臺的下降實現工件的進給。高質量激光精密切割機廠家與其他技術相比有:效率高,產能高,精度高等優點。是目前采用Z廣泛的硅片切割技術。多線切割技術是硅加工行業、太陽能光伏行業內的標志性革新,它替代了原有的內圓切割設備,所切晶片與內圓切片工藝相比具有彎曲度(BOW)、翹曲度(WARP)小,平行度(TAPER)好,總厚度公差(TTA)離散性小,刃口切割損耗小,表面損傷層淺,晶片表面粗糙度小等等諸多優點。

          長春高質量激光精密切割機廠家

          長春高質量激光精密切割機是光電信息產業中制備產品基片的重要設備,切片的質量直接影響后續進程的質量和成品率。多線切割是通過極細(70μm)切割線的高速往復運動將工件一次同時切割為數百或上千薄片的一種新型切割技術,相較于傳統的內圓和外圓切割,具有加工精度高、效率高和材料損耗少的優勢,已成為切片加工的主流設備。張力控制技術是多線切割得以進行的關鍵技術,張力的波動程度和變化頻率直接影響了切片質量。目前國內雖然有不少對多線切割機的研究,但是其中對于張力控制的研究較少,張力控制技術主要掌握在少數發達國家手中,所以從理論和實際兩方面考慮,對張力控制系統進行研究和應用很有必要。本文針對多線切割機的張力控制系統靜態超調大、穩態誤差大、加速度時張力波動大的問題,設計張力閉環控制系統,建立其數學模型,通過分析高質量激光精密切割機走線過程中的各張力干擾因素,提出一種基于模糊PID控制算法的張力閉環控制策略,并進行了 MATLAB仿真分析和上機試驗,實現了高精度的張力控制。

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          在上世紀80年代以前,人們在切割超硬材料的時候一般采用涂有金剛石粉的內圈切割機進行切側。然而隨粉半導體行業的飛速發展,人們對已有的生產效率難以滿足,同時由于內圓切側的材料攝失非常大,在半導體行業成本的摩爾定律作用下,人們對于降低切捌成本、提高效率的要求越來越高。高質量激光精密切割機因此而逐步發展起來。在2003年以前,多線切剖主要潤足于半導體行業的需求,切創技術主要掌握在歐、美、日、臺等國家和地區,國內半導體業務以封裝業務為主,上游的晶圓切荊技術遠遠落后于發達國家和地區,相關的設備制造研發也難有進展。高質量激光精密切割機事業還沒有發展起來、

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          集成電路、光伏和半導體照明產業是我國戰略性產業之一。長春高質量激光精密切割機是太陽能光伏發電、大規模集成電路等電子產業中基片加工的創新性核心工藝和主流技術,可以大幅度提高出片率、切片質量和生產效率。多線切割機控制系統復雜,控制精度要求非常高。目前國內多線切割機產品大部分依賴從國外進口,高質量激光精密切割機的核心控制技術已成為制約國內多線切割機市場發展的技術瓶頸。多電機速度同步系統和張力系統是控制系統研究的重點和難點。本文針對多電機速度同步控制和張力控制等關鍵技術進行了理論分析與實際開發,對國內多線切割機控制系統的設計、開發和調試提供了一些理論依據,具有一定的理論意義和實際應用價值。本課題以實驗室原有多線切割機樣機為研究對象,設計了一套高精度、高速度的控制系統。

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          長春高質量激光精密切割機是目前世界上比較先進的硅片加工技術,它的原理是通過一根高速運動的鋼線帶動附著在鋼絲上的切割刃料對半導體等硬脆材料進行摩擦,從而達到切割效果。在整個過程中,鋼線通過十幾個導線輪的引導,在主線輥上形成一張線網,而待加工工件通過工作臺的上升下降實現工件的進給,可將半導體等硬脆材料一次同時切割為數百片,高質量激光精密切割機廠家與其他技術相比有:效率高,產能高,精度高等優點。已逐漸取代了傳統的刀鋸片、砂輪片及內圓切割,是目前采用Z廣泛的半導體等硬脆材料切割技術。

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